| 1952年8月 | 投资600万日元创立日本真空技术株式会社 |
|---|---|
| 1963年8月 | 公司注册商标为<ULVAC> |
| 1964年7月 | 合资成立香港真空有限公司 |
| 1983年2月 | 设立北京事务所 |
| 1987年4月 | 委托中科院上海冶金所设立上海服务中心 |
| 1989年8月 | 设立上海事务所 |
| 1995年5月 | 设立广州事务所 |
| 1995年9月 | 合资成立宁波爱发科真空技术有限公司 |
| 2000年10月 | 成立爱发科真空技术(上海)有限公司 |
| 2001年5月 | 宁波爱发科真空技术有限公司迁往新工厂 |
| 2001年7月 | 公司名称正式更名为株式会社ULVAC(英文名:ULVAC,Inc.) |
| 2003年7月 | 成立爱发科真空技术(苏州)有限公司 |
| 2003年10月 | 成立成都东方爱发科真空技术有限公司 |
| 2004年4月 | 株式会社ULVAC在日本东京证券交易所上市 |
| 2004年8月 | 合资成立爱发科启电科技(上海)有限公司(现名:爱发科自动化科技(上海)有限公司) |
| 2005年1月 | 合资成立爱发科天马电机(靖江)有限公司 |
| 2005年1月 | 成立爱发科中北真空(沈阳)有限公司 |
| 2005年1月 | 成都东方爱发科真空技术有限公司更名为爱发科东方真空(成都)有限公司 |
| 2005年7月 | 成立宁波爱发科低温泵有限公司 |
| 2006年3月 | 成立爱发科(中国)投资有限公司 |
| 2006年7月 | 成立爱发科商贸(上海)有限公司 |
| 2006年11月 | 成立宁波爱发科精密铸件有限公司和洛阳鑫友镁业有限公司 |
