作为优化环境的发电方式,太阳电池备受瞩目。同时,世界各地为了促进普及度,随着各种各样政策的实施,太阳电池每年的需求量将不断提升。其中,和其他方式比较(CdTe等结晶系),薄膜太阳电池因为其所使用的硅材料相对安全和用量较少(不到结晶系的1%),而正在考虑将其最为主流。但是因为它的发电效率相对其他方式来说较低,所以目前还没有被不断普及。
　为了改善这一点,在原先的a-Si层上面再加上了一层微结晶Si层,这样原先单靠a-Si层所无法吸收的长波长可以通过微结晶Si层进行光电变换,这就期待<高效率串联型薄膜太阳电池>量产化技术的确立。然而,因为微结晶Si的膜厚是a-Si层的7倍(1.5～2.0μm),在以前技术的延长线上,既能确保生产性又能获得良好膜质的设备很难确定。