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高纯度溅射靶材
靶材系列
我们将在半导体市场提供高品质和稳定的材料,使其产品线更多元化和大型化。提供安全安心的高纯度稳定材料,与半导体制造设备相对应的质量控制和系统,结合爱发科的超级材料研究实验室,为客户的工艺优化和材料供应,提供有力保证。
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平板显示制造靶材
靶材系列
我们将在FPD(平板显示器)市场提供高品质和稳定的材料,使其产品线更多元化和大型化。提供安全安心的高纯度稳定材料,与大型设备相对应的质量控制设备和系统,(不仅对于G8世代,而且可对于G10或者超世代的巨大玻璃基板),结合爱发科的超级材料研究实验室,为客户的工艺优化和材料供应,提供有力保证。
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半导体制造靶材
靶材系列
爱发科领先的半导体材料,具备完全安心的客户大规模生产经验,均匀的薄膜厚度分布和超高使用效率,概率极低的微粒产生可能,通过研究每种材料的制造方法,开发和制造出各类高质量的半导体用溅射靶材。
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铜合金靶材
靶材系列
采用最佳制造方法的溅射靶材,以满足半导体工艺所需的各种需求。开发了抑制微粒子产生的溅射靶材,特别是对于铜和铝靶材,我们通过在精炼和铸造过程中采用真空熔炼方法来减少氧气等气体成分,这是产生颗粒的原因之一。
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NI靶材
靶材系列
我们高纯度的Ni靶材、钴靶材和大多数半导体靶材,包括钛靶材,都采用了先进的制造工艺,制造过程中注意到细小均匀的金属结构。例如,在高纯度钴靶中,通过金属结构的精细和均匀化,泄漏通量在靶表面上的分散被最小化。具备完善的质量控制体系,考虑到要处理的产品特性和处理工艺,爱发科可进行综合一体化制造。
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