2024年5月15日，由广东省真空学会主办的第九届广东真空工业展览会在佛山潭州国际会展中心完美谢幕。展会涵盖了真空获得设备、真空应用设备，真空镀膜设备以及关键的真空零部件和先进的检测检漏仪器等真空技术的各个关键领域的设备和部件。

作为华南地区最具规模的国际性展会，汇聚了200多家国内外真空领域厂商和10000多专业观众参加展会，并同期举办了10余场技术交流会，是一场成功的行业盛会。

本次展会，爱发科商贸（上海）有限公司携真空泵、真空计、检漏仪、真空阀门及GaN Sputter镀膜等多款真空解决方案亮相展会，展出了CRYO-U系列的低温泵、HELIOT900系列的检漏仪、气动阀门、可调型漏孔等广泛应用于半导体电子行业的产品，吸引了众多国内外的参观者和业界人士前来参观交流。

5月13日，爱发科商贸（上海）有限公司市场战略中心王禹中心长于广东高质量发展真空产业技术论坛发表了题为《关于GaN材料溅射镀膜技术的最新进展》的演讲。

他着重介绍了爱发科在N+外延GaN溅射技术上的最新设备解决方案，该解决方案使用GaN靶配合N自由基等离子源实现低温外延生长,并通过掺杂元素靶材共同溅射沉积的方式，实现了更低损伤，更低成本的掺杂效果，同时获得了高密度载流子。不仅提高了GaN薄膜的结晶质量，还提升了N型GaN的电学特性。