在复合集流体环节，ULVAC 采用搭载送丝机构的 RH 蒸发源卷绕“一步法”蒸镀方案：一次进卷即可实现一次双面镀膜，整卷沉积距离更长且膜层电阻率更低；连续送丝保证了高节拍运行，既降低了材料与运营成本，也使设备维护更为简洁。RH 源工作时易产生 Splash 飞溅，ULVAC 通过精细化功率调节与蒸发面—基材间距优化，有效抑制飞溅缺陷，确保薄膜致密均匀，为后续涂布与层压提供高导电、平整的界面。
面向锂金属负极，ULVAC 与日本国家新能源产业技术综合开发机构（NEDO）联合开发了卷绕式锂蒸镀设备，显著提升原材料利用率，并在真空环境下完成原位沉积，减少转运暴露风险，确保界面稳定性。
相关设备
工艺运用到的产品设备
溅射
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Model:LX-200 series
蒸镀
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Model:EWG series
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Model:EWK-030
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