真空泵(低・中真空)

真空泵(高真空)

真空计

气体分析仪(工艺气体监测仪)

检漏仪

高速光谱椭偏仪

水晶振荡式成膜控制器

真空阀

用于等离子体生成的电源

真空沉积电子枪

真空传输机器人

小型蒸发设备

低温设备(CRYO)

热处理・热物性评估装置