Micro-OLED解决方案
ULVAC 通过集群式（Cluster）设备架构、长期量产实绩与温控-低损伤工艺 Know-How，为上述难题提供行业领先的解决方案。集群腔体将前处理、蒸镀、溅射和封装整合于同一超高真空系统，衬底无需暴露外界即可完成全流程处理，从源头抑制交叉污染与颗粒生成。
新一代 Selion 有机蒸镀机进一步凸显了 ULVAC 的差异化优势：高温蒸发多源与其构造设计显著提升材料利用率；多区基板高速冷却技术，实现面内温度的均一性，从而在确保像素精度的同时降低基板损伤以及控制膜质表面粗糙度；快速换源与易维护结构则有效缩短停机时间。依托“洁净集群＋深厚工艺＋客户实绩”的三重优势，ULVAC 帮助 micro-OLED 生产线在亮度、分辨率与良率的竞赛中抢占先机。
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